silikon nitrür - Silicon nitride
Sinterlenmiş silikon nitrür seramik
|
|
İsimler | |
---|---|
Tercih edilen IUPAC adı
silikon nitrür |
|
Diğer isimler
Nierit
|
|
tanımlayıcılar | |
3B model ( JSmol )
|
|
Kimyasal Örümcek | |
ECHA Bilgi Kartı | 100.031.620 |
AT Numarası | |
ağ | silikon+nitrür |
PubChem Müşteri Kimliği
|
|
ÜNİİ | |
CompTox Panosu ( EPA )
|
|
|
|
|
|
Özellikler | |
Si 3 N 4 | |
Molar kütle | 140.283 g·mol -1 |
Dış görünüş | gri, kokusuz toz |
Yoğunluk | 3.17 g / cc 3. |
Erime noktası | 1.900 °C (3.450 °F; 2.170 K) (çözünür) |
çözünmez | |
Kırılma indisi ( n D )
|
2.016 |
Tehlikeler | |
Ana tehlikeler | |
AB sınıflandırması (DSD) (eski)
|
listelenmemiş |
Bağıntılı bileşikler | |
Diğer anyonlar
|
silisyum karbür , silisyum dioksit |
Diğer katyonlar
|
Bor nitrür |
Aksi belirtilmediği sürece, veriler standart durumdaki malzemeler için verilmiştir (25 °C [77 °F], 100 kPa'da). |
|
doğrulamak ( nedir ?) | |
Bilgi kutusu referansları | |
Silisyum nitrür , silisyum ve azot elementlerinin kimyasal bir bileşiğidir . Si
3n
4silisyum nitrürlerin termodinamik olarak en kararlı olanıdır. Bu nedenle, Si
3n
4"silikon nitrür" terimine atıfta bulunulduğunda, silikon nitrürlerin ticari olarak en önemlisidir. Seyreltik HF ve sıcak H tarafından saldırıya uğrayan, nispeten kimyasal olarak inert olan beyaz, yüksek erime noktalı bir katıdır.
2BU YÜZDEN
4. Çok zor ( mohs ölçeğinde 8.5 ). Yüksek termal stabiliteye sahiptir.
Üretme
Malzeme, toz halindeki silikonun nitrojen ortamında 1300 °C ile 1400 °C arasında ısıtılmasıyla hazırlanacaktır:
- 3 Si + 2 N
2→ Si
3n
4
Silisyum ve nitrojenin kimyasal kombinasyonu nedeniyle silikon numune ağırlığı kademeli olarak artar. Demir katalizörü olmadan, nitrojen absorpsiyonundan (silikon gramı başına) daha fazla ağırlık artışı tespit edilmediğinde, reaksiyon birkaç saat sonra (~7) tamamlanır. Ek olarak Si
3n
4, birkaç başka silikon nitrür fazı (değişen derecelerde nitrürleme/Si oksidasyon durumuna karşılık gelen kimyasal formüllerle) literatürde rapor edilmiştir, örneğin, gazlı disilikon mononitrür ( Si
2N ); silikon mononitrür (SiN) ve silikon seskinitrür ( Si
2n
3), bunların her biri stokiyometrik fazlar. Diğer refrakterlerde olduğu gibi , bu yüksek sıcaklık sentezlerinde elde edilen ürünler, reaksiyon koşullarına (örneğin, zaman, sıcaklık ve reaktanlar ve kap malzemeleri dahil başlangıç malzemeleri) ve ayrıca saflaştırma moduna bağlıdır. Ancak, seskinitrürün varlığı o zamandan beri sorgulandı.
Diimid yolu ile de hazırlanabilir:
-
SiCl
4+ 6 NH
3 → Si(NH)
2+ 4 NH
40 °C'de Cl (s) - 3 Si(NH)
2→ Si
3n
4+ N
2+ 3 Saat
2(g) 1000 °C'de
1400–1450 °C'de nitrojen atmosferinde silikon dioksitin karbotermal indirgenmesi de incelenmiştir:
- 3 SiO
2+ 6 C + 2 N
2→ Si
3n
4 + 6 CO
Silikon tozunun nitrürlenmesi, silikon nitrürün "yeniden keşfini" takiben 1950'lerde geliştirildi ve toz üretimi için ilk büyük ölçekli yöntemdi. Bununla birlikte, düşük saflıkta ham silikon kullanımı, silisyum nitrürün silikatlar ve demir ile kirlenmesine neden olmuştur . Diimid ayrışması, kristal toz haline dönüştürmek için 1400–1500 °C'de nitrojen altında daha fazla tavlamaya ihtiyaç duyan amorf silikon nitrür ile sonuçlanır; bu artık ticari üretim için ikinci en önemli yoldur. Karbotermal indirgeme, silisyum nitrür üretimi için kullanılan en eski yöntemdi ve şu anda yüksek saflıkta silisyum nitrür tozuna giden en uygun maliyetli endüstriyel yol olarak kabul ediliyor.
Elektronik dereceli silikon nitrür filmler, kimyasal buhar biriktirme (CVD) veya plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD) gibi varyantlarından biri kullanılarak oluşturulur :
- 3 SiH
4(g) + 4NH
3(g) → Si
3n
4(ler) + 12 H
2(g) 750-850°C'de - 3 SiCl
4(g) + 4NH
3(g) → Si
3n
4(s) + 12 HCl(g) - 3 SiCl
2H
2(g) + 4NH
3(g) → Si
3n
4(s) + 6 HCl(g) + 6 H
2(G)
Silisyum nitrür katmanlarının yarı iletken (genellikle silikon) substratlar üzerinde biriktirilmesi için iki yöntem kullanılır:
- Oldukça yüksek sıcaklıkta çalışan ve dikey veya yatay bir tüp fırında yapılan düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD) teknolojisi veya
- Oldukça düşük sıcaklık ve vakum koşullarında çalışan plazma ile geliştirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD) teknolojisi.
Kafes sabitleri ve de silikon nitrid ve silikon farklıdır. Bu nedenle, biriktirme işlemine bağlı olarak gerilim veya stres oluşabilir. Özellikle PECVD teknolojisini kullanırken bu gerilim biriktirme parametreleri ayarlanarak azaltılabilir.
Silisyum nitrür nanotelleri ayrıca , karbotermal indirgeme ve ardından ultra ince karbon parçacıkları içeren silika jelin nitrürlenmesi kullanılarak sol-jel yöntemiyle de üretilebilir . Parçacıklar, 1200-1350 °C sıcaklık aralığında dekstrozun ayrışmasıyla üretilebilir . Olası sentez reaksiyonları şunlardır:
-
SiO
2(s) + C(s) → SiO(g) + CO(g) ve - 3 SiO(g) + 2 N
2(g) + 3 CO(g) → Si
3n
4(ler) + 3 CO
2(g) veya - 3 SiO(g) + 2 N
2(g) + 3 C(s) → Si
3n
4(s) + 3 CO(g).
İşleme
Silisyum nitrürün dökme malzeme olarak üretilmesi zordur - silikon ve nitrojene ayrışması nedeniyle erime noktasının oldukça altında olan 1850 °C'nin üzerinde ısıtılamaz . Bu nedenle, geleneksel sıcak pres sinterleme tekniklerinin uygulanması sorunludur. Silisyum nitrür tozlarının bağlanması, genellikle bir dereceye kadar sıvı faz sinterlemeyi indükleyen ek malzemeler (sinterleme yardımcıları veya "bağlayıcılar") eklenerek daha düşük sıcaklıklarda elde edilebilir. Daha temiz bir alternatif, ısıtmanın sıkıştırılmış tozdan elektrik akımı darbeleri geçirerek çok hızlı (saniyeler) gerçekleştirildiği kıvılcım plazma sinterlemeyi kullanmaktır . Bu teknikle 1500–1700 °C sıcaklıklarda yoğun silikon nitrür kompaktları elde edilmiştir.
Kristal yapısı ve özellikleri
Silisyum nitrürün üç kristalografik yapısı vardır ( Si
3n
4), α, β ve γ fazları olarak belirlenmiştir. α ve β fazları Si'nin en yaygın biçimleridir.
3n
4, ve normal basınç koşullarında üretilebilir. γ fazı ancak yüksek basınç ve sıcaklıklarda sentezlenebilir ve sertliği 35 GPa'dır.
α- ve β- Si
3n
4sahip köşeli ( Pearson sembol HP28, uzay grubu P31c, 159 No.) ve altıgen (HP14, P6 3 köşe paylaşarak inşa edilir, No. 173), sırasıyla yapıları, SİN
4 dörtyüzlü . Bunlar β- ve ... sekans ABAB ... ya ABCDABCD silikon ve azot atomlarından oluşan katman olarak kabul edilebilir Si
3n
4ve α- Si
3n
4, sırasıyla. AB katmanı α ve β fazlarında aynıdır ve α fazındaki CD katmanı AB ile bir c-kayma düzlemi ile ilişkilidir. Si
3n
4tetrahedra'nın içinde β- Si
3n
4birim hücrenin c eksenine paralel uzanan tüneller oluşturacak şekilde birbirine bağlıdır. AB'yi CD'ye bağlayan c-kayma düzlemi nedeniyle, α yapısı tüneller yerine boşluklar içerir. Kübik γ- Si
3n
4bor nitrürün (c-BN) kübik modifikasyonuna benzer şekilde literatürde genellikle c modifikasyonu olarak adlandırılır . İki silikon atomunun altı nitrojen atomunu oktahedral olarak koordine ettiği ve bir silikon atomunun dört nitrojen atomunu tetrahedral olarak koordine ettiği spinel tipi bir yapıya sahiptir .
Daha uzun istifleme dizisi, α-fazının β-fazından daha yüksek sertliğe sahip olmasına neden olur. Bununla birlikte, α-fazı, β-fazına kıyasla kimyasal olarak kararsızdır. Bir sıvı faz mevcut olduğunda yüksek sıcaklıklarda, α-fazı daima β-fazına dönüşür. Bu nedenle, β- Si
3n
4Si'de kullanılan ana formdur
3n
4seramik. Anormal tane büyümesi takviyeli β- oluşabilir Si
3n
4daha ince eş eksenli tanelerden oluşan bir matriste anormal derecede büyük uzamış taneler oluşur ve bu malzemede çatlak köprüleme yoluyla kırılma tokluğunu arttırmak için bir teknik olarak hizmet edebilir. Katkılı silikon nitrürde anormal tane büyümesi , katkı maddesiyle güçlendirilmiş difüzyon nedeniyle ortaya çıkar ve "yerinde kompozitler" veya "kendinden takviyeli malzemeler" olarak da kabul edilebilecek kompozit mikro yapılarla sonuçlanır.
Silikon nitrürün kristal polimorflarına ek olarak, camsı amorf malzemeler preseramik polimerlerin piroliz ürünleri olarak oluşturulabilir , çoğunlukla değişen miktarlarda artık karbon içerir (bu nedenle daha uygun bir şekilde silikon karbonitrürler olarak kabul edilirler). Spesifik olarak, polikarbosilazan, polimerler için daha yaygın olarak kullanılan işleme teknikleri yoluyla silikon nitrür malzemelerinin işlenmesinde değerli çıkarımlarla, piroliz üzerine amorf bir silikon karbonitrür bazlı malzeme formuna kolayca dönüştürülebilir.
Uygulamalar
Genel olarak, silikon nitrür uygulamalarıyla ilgili ana sorun teknik performans değil, maliyet olmuştur. Maliyet düştükçe üretim uygulamalarının sayısı da hızlanıyor.
otomobil endüstrisi
Sinterlenmiş silisyum nitrürün ana uygulamalarından biri, motor parçaları için bir malzeme olarak otomobil endüstrisindedir. Bunlar, şunlardır içinde dizel motorlar , Kızdırma bujilerine daha hızlı harekete geçirme; daha düşük emisyonlar, daha hızlı başlatma ve daha düşük gürültü için ön yanma odaları (girdap odaları); azaltılmış motor gecikmesi ve emisyonlar için turboşarj . Olarak kıvılcım-ateşlemeli motorlarda , silisyum nitrür için kullanılan külbütör düşük yastıkları aşınma , düşük atalet ve daha az motor gecikmesi ve en çok turbokompresör türbin egzoz gazı kontrol valfleri artan ivme için. Üretim seviyelerine örnek olarak, yılda 300.000'den fazla sinterlenmiş silikon nitrür turboşarj yapıldığı tahmin edilmektedir.
Rulmanlar
Silisyum nitrür rulman, hem tam seramik yatakları ve olan seramik karma yatakları seramik toplar ile ırklar çelikten yapılmıştır. Silisyum nitrür seramikler , diğer seramiklere kıyasla iyi bir şok direncine sahiptir. Bu nedenle performans rulmanlarında silikon nitrür seramikten yapılmış bilyalı rulmanlar kullanılmaktadır . Temsili bir örnek, NASA'nın Uzay Mekiği'nin ana motorlarında silikon nitrür yataklarının kullanılmasıdır .
Silisyum nitrür bilyalı rulmanlar metalden daha sert olduğu için bu, rulman izi ile teması azaltır. Bu, geleneksel metal yataklara kıyasla %80 daha az sürtünme, 3 ila 10 kat daha uzun ömür, %80 daha yüksek hız, %60 daha az ağırlık, yağlama yetersizliği ile çalışma yeteneği, daha yüksek korozyon direnci ve daha yüksek çalışma sıcaklığı ile sonuçlanır. Silisyum nitrür bilyeler, tungsten karbür bilyelerden %79 daha hafiftir . Silisyum nitrür bilyalı rulmanlar, ileri teknoloji otomotiv rulmanlarında, endüstriyel rulmanlarda, rüzgar türbinlerinde , motor sporlarında, bisikletlerde, patenlerde ve kaykaylarda bulunabilir . Silisyum nitrür yataklar, özellikle korozyon, elektrik veya manyetik alanların metal kullanımını yasakladığı uygulamalarda kullanışlıdır. Örneğin, deniz suyu saldırısının sorun olduğu gelgit akış ölçerlerinde veya elektrik alanı arayanlarda.
Si 3 N 4 ilk olarak 1972'de üstün bir rulman olarak gösterildi, ancak maliyeti düşürmeyle ilgili zorluklar nedeniyle yaklaşık 1990'a kadar üretime ulaşmadı. 1990'dan bu yana, üretim hacmi arttıkça maliyet önemli ölçüde azaldı. Her ne kadar Si
3n
4rulmanlar hala en iyi çelik rulmanlardan 2-5 kat daha pahalıdır, üstün performansları ve ömürleri hızlı kabulü haklı çıkarmaktadır. Yaklaşık 15-20 milyon Si
3n
4rulman bilyaları, 1996 yılında takım tezgahları ve diğer birçok uygulama için ABD'de üretildi. Büyümenin yılda %40 olduğu tahmin ediliyor, ancak sıralı patenler ve bilgisayar disk sürücüleri gibi tüketici uygulamaları için seramik rulmanlar seçilirse daha da yüksek olabilir.
NASA testleri, seramik-hibrit rulmanların, standart tamamen çelik rulmanlardan çok daha düşük yorulma (aşınma) ömrü gösterdiğini söylüyor.
Yüksek sıcaklık malzemesi
Silisyum nitrür uzun süredir yüksek sıcaklık uygulamalarında kullanılmaktadır. Özellikle, hidrojen/oksijen roket motorlarında üretilen şiddetli termal şok ve termal gradyanlara dayanabilen birkaç monolitik seramik malzemeden biri olarak tanımlandı. Bu yeteneği karmaşık bir konfigürasyonda göstermek için NASA bilim adamları, bir inç çapında, tek parça yanma odası/meme (itici) bileşeni üretmek için gelişmiş hızlı prototipleme teknolojisini kullandılar. İtici, hidrojen/oksijen itici gazla sıcak ateş testine tabi tutuldu ve 1320 °C malzeme sıcaklığına kadar 5 dakikalık bir döngü dahil olmak üzere beş döngüde hayatta kaldı.
2010 yılında, JAXA uzay sondası Akatsuki'nin iticilerinde ana malzeme olarak silikon nitrür kullanıldı .
Silisyum nitrür için geliştirilen "microshutters" için kullanıldı Yakın Kızılötesi Tayfçekeri'nin gemiye James Webb Uzay Teleskobu . NASA'ya göre: "Çalışma sıcaklığı kriyojeniktir, bu nedenle cihazın aşırı soğuk sıcaklıklarda çalışabilmesi gerekir. Diğer bir zorluk ise şunları yapabilen panjurlar geliştirmekti: yorulmadan tekrar tekrar açılıp kapanabilen; tek tek açılabilen ve yeterince geniş açılabilen panjurlar. cihazın bilimsel gereksinimlerini karşılar. Silikon nitrür, yüksek mukavemeti ve yorulmaya karşı direnci nedeniyle mikro panjurlarda kullanım için seçilmiştir." Bu mikro deklanşör sistemi, cihazın aynı anda 100'e kadar gök cismini gözlemlemesine ve analiz etmesine olanak tanır.
Tıbbi
Silisyum nitrürün birçok ortopedik uygulaması vardır. Malzeme aynı zamanda spinal füzyon cihazları için kullanılan PEEK (polieter eter keton) ve titanyuma bir alternatiftir . PEEK ve titanyuma kıyasla malzemenin mukavemetine, dayanıklılığına ve güvenilirliğine katkıda bulunan silikon nitrürün hidrofilik , mikro dokulu yüzeyidir.
Silisyum nitrür üzerinde yapılan son çalışmalar, bu malzemenin belirli bileşimlerinin anti-bakteriyel özellikler, mantar önleyici özellikler ve anti-viral özellikler sergilediğini göstermiştir .
Metal işleme ve kesme aletleri
Si'nin ilk büyük uygulaması
3n
4aşındırıcı ve kesici aletlerdi . Dökme, monolitik silikon nitrür, sertliği, termal kararlılığı ve aşınmaya karşı direnci nedeniyle kesici takımlar için bir malzeme olarak kullanılır . Özellikle yüksek hız için tavsiye edilir işleme ait dökme demir . Sıcak sertlik, kırılma tokluğu ve termal şok direnci, sinterlenmiş silisyum nitrürün, tungsten karbür gibi geleneksel malzemelerle elde edilenlerden 25 kat daha hızlı yüzey hızlarıyla dökme demir, sert çelik ve nikel bazlı alaşımları kesebileceği anlamına gelir. Si'nin kullanımı
3n
4kesici takımların üretim çıktısı üzerinde çarpıcı bir etkisi oldu. Örneğin, silisyum nitrür uçlarla gri dökme demirin yüzey frezelemesi, geleneksel tungsten karbür takımlara kıyasla kesme hızını iki katına çıkardı, takım ömrünü bir parçadan kenar başına altı parçaya çıkardı ve uçların ortalama maliyetini %50 oranında azalttı .
Elektronik
Silisyum nitrür genellikle entegre devrelerin üretiminde yalıtkan ve kimyasal bariyer olarak , farklı yapıları elektriksel olarak izole etmek için veya toplu mikro işlemede aşındırma maskesi olarak kullanılır . Mikroçipler için bir pasivasyon katmanı olarak , mikroelektronikte iki ana korozyon ve kararsızlık kaynağı olan su moleküllerine ve sodyum iyonlarına karşı önemli ölçüde daha iyi bir difüzyon bariyeri olduğu için silikon dioksitten üstündür . Aynı zamanda, bir şekilde kullanılan dielektrik arasındaki polisilikon katmanlar kondansatör analog fiş.
LPCVD tarafından biriktirilen silikon nitrür , %8'e kadar hidrojen içerir. Ayrıca 200 nm'den daha kalın filmleri çatlatabilecek güçlü bir çekme gerilimi yaşar . Bununla birlikte, mikrofabrikasyonda yaygın olarak bulunan çoğu yalıtkandan ( sırasıyla 10 16 Ω ·cm ve 10 MV/cm) daha yüksek özdirenç ve dielektrik dayanıma sahiptir .
Sadece silikon nitrür değil, aynı zamanda çeşitli üçlü silikon, nitrojen ve hidrojen bileşikleri (SiN x H y ) yalıtım katmanları olarak kullanılır. Aşağıdaki reaksiyonlar kullanılarak plazma biriktirilirler:
- 2 SiH
4(g) + N
2(g) → 2 SiNH(ler) + 3 H
2(G) -
SiH
4(g) + NH
3(g) → SiNH(ler) + 3 H
2(G)
Bu SINH filmler çok daha az çekme gerilmesi, ama kötü elektriksel özellikleri (özdirenç 10 6 10 için 15 Q-cm, ve dielektrik mukavemeti 1 5 MV / cm). Bu silikon filmler ayrıca belirli fiziksel koşullar altında yüksek sıcaklıklara termal olarak kararlıdır. Silisyum nitrür, fotoğraf dramının katmanlarından biri olarak kserografik işlemde de kullanılır . Silisyum nitrür, ev tipi gazlı cihazlar için bir ateşleme kaynağı olarak da kullanılır. İyi elastik özelliklerinden dolayı silikon nitrür, silikon ve silikon oksit ile birlikte , atomik kuvvet mikroskoplarının algılama elemanları olan konsollar için en popüler malzemedir .
Tarih
İlk hazırlık 1857'de Henri Etienne Sainte-Claire Deville ve Friedrich Wöhler tarafından rapor edildi . Yöntemlerinde silikon, oksijenin iç potaya nüfuz etmesini azaltmak için karbonla dolu başka bir potanın içine yerleştirilmiş bir pota içinde ısıtıldı. Silisyum nitrür adını verdikleri, ancak kimyasal bileşimini belirtmeden bir ürün bildirdiler. Paul Schuetzenberger ilk olarak tetranitrit Si bileşimine sahip bir ürün bildirdi.
3n
4, 1879'da silikonun pirinçle (kömür, kömür veya kok kömürünün kil ile karıştırılmasıyla yapılan ve daha sonra potaları hizalamak için kullanılan bir macun) bir yüksek fırında ısıtılmasıyla elde edildi. 1910'da Ludwig Weiss ve Theodor Engelhardt silikonu saf nitrojen altında ısıtarak Si üretti.
3n
4. E. Friederich ve L. Sittig Si yapılan 3 K 4 1250-1300 ° C'de silis, karbon, ve azot ısıtılarak, bir nitrojen atmosferi altında karbotermal indirgeme yoluyla 1925'te.
Silisyum nitrür, ticari uygulamalarda kullanılmadan önce onlarca yıl sadece kimyasal bir merak olarak kaldı. 1948'den 1952'ye kadar, Carborundum Company, Niagara Falls, New York, silikon nitrür üretimi ve uygulaması üzerine birkaç patent başvurusunda bulundu . 1958'de Haynes ( Union Carbide ) silikon nitrür, termokupl tüpleri, roket memeleri ve metalleri eritmek için tekneler ve potalar için ticari üretimdeydi . 1953'te başlayan silikon nitrür üzerindeki İngiliz çalışmaları, gaz türbinlerinin yüksek sıcaklıktaki parçalarına yönelikti ve reaksiyona bağlı silikon nitrür ve sıcak preslenmiş silikon nitrürün geliştirilmesiyle sonuçlandı. 1971'de ABD Savunma Bakanlığı'nın İleri Araştırma Proje Ajansı , iki seramik gaz türbini için Ford ve Westinghouse ile 17 milyon ABD Doları tutarında bir sözleşme imzaladı .
Silisyum nitrürün özellikleri iyi bilinmesine rağmen, doğal oluşumu, meteoritlerde küçük inklüzyonlar (yaklaşık 2 μm × 0.5 μm boyutunda) olarak yalnızca 1990'larda keşfedildi . Mineral seçildi nierite öncüsü sonra kütle spektrometresi , Alfred OC Nier . Bu mineral, Sovyet jeologları tarafından daha önce, yine yalnızca meteorlarda tespit edilmiş olabilir.
Referanslar
Alıntılanan kaynaklar
- Peng, Hong (2004). Si 3 N 4 Esaslı Seramiklerin Spark Plazma Sinterlenmesi : Sinterleme mekanizması-Terzi mikroyapı-Özelliklerin değerlendirilmesi (Doktora tezi). Stockholm Üniversitesi. ISBN'si 978-91-7265-834-9.
NH 3 K 2 H 4 |
O(N 2 ) 11 | ||||||||||||||||
Li 3 K | Be 3 K 2 | BN |
β-C 3 N 4 g-C 3 N 4 C x N y |
K 2 | N x O y | NF 3 | Ne | ||||||||||
Na 3 N | Mg 3 N 2 | AlN | Si 3 N 4 |
PN P 3 N 5 |
S x N y SN S 4 N 4 |
NC 3 | Ar | ||||||||||
K 3 K | Ca 3 K 2 | SCN | Teneke | sanal ağ |
CrN Cr 2 N |
Mn x N y | Fe x N y | bağ | Ni 3 N | CuN | Zn 3 N 2 | GaN | Ge 3 N 4 | Olarak | Gör | Not 3 | Kr |
Rb | Sr 3 N 2 | YN | ZrN | NBN | β-Mo 2 N | Tc | Ru | Rh | şifre | Ag 3 N | CDN | Han | Sn | Sb | Te | NI 3 | Xe |
C'ler | Ba 3 N 2 | Hf 3 N 4 | taN | WN | Tekrar | İşletim sistemi | ir | nokta | Au | Hg 3 N 2 | TIN | Pb | Çöp Kutusu | po | NS | Rn | |
Cum | Ra 3 N 2 | Rf | db | Çavuş | bh | hs | dağ | Ds | Rg | Müşteri | Nh | fl | Mc | Sv. | Ts | og | |
↓ | |||||||||||||||||
La | CeN | PrN | Nd | Öğleden sonra | Sm | AB | GdN | yemek | dy | Ho | Er | Tm | yb | lu | |||
AC | NS | baba | U 2 N 3 | np | Pu | NS | Santimetre | bk | bkz. | Es | FM | md | Numara | lr |