Maske set - Mask set

Bir maske grubu veya bir foto-maskesi grubu için geometrisini belirleyen elektronik verilerin bir dizi fotolitografi yarıiletken imalat aşamaları. Bu verilerden oluşturulan fiziksel maskeleri her biri denir photomask .

Modern bir işlem için ayarlanan bir maske, genellikle yarı iletken üretim işleminde özel bir fotolitografik basamağı tanımlayan her biri yirmi ya da daha fazla maskeleri, kadar içermektedir. maske örnekleri aşağıdakileri içerir:

• p-çukurlu
• N-çukurlu
• aktif
• poli
• p-select
• n-select
• temas
• taş1, 2, 3 ...

Daha fazla bilgi için, bkz fotolitografi ve yarı iletken üretim .

Referanslar

* Aziz Christopher ve Judy. (2002). IC Düzeni Temelleri . McGraw-Hill. ISBN  0-07-138625-4