HARMST - HARMST

HARMST için kullanılan bir kısaltmadır H üksek bir spek R aları M icrostructure T yüksek oluşturmak için kullanılan üretim teknolojileri tarif echnology boy oranı bir santimetre kadar ve mikrometre onlarca arasında boyutlara sahip mikro- boy oranları 10 daha büyüktür: 1 arasındadır. Örnekleri arasında LIGA fabrikasyon işlemi, gelişmiş silikon etch ve derin reaktif iyon dağlama .

Ayrıca bakınız

Referanslar