HARMST - HARMST
HARMST için kullanılan bir kısaltmadır H üksek bir spek R aları M icrostructure T yüksek oluşturmak için kullanılan üretim teknolojileri tarif echnology boy oranı bir santimetre kadar ve mikrometre onlarca arasında boyutlara sahip mikro- boy oranları 10 daha büyüktür: 1 arasındadır. Örnekleri arasında LIGA fabrikasyon işlemi, gelişmiş silikon etch ve derin reaktif iyon dağlama .
Ayrıca bakınız
- LIGA
- Gelişmiş Silikon Etch
- Derin Reaktif İyon Dağlama
- Mikromekanik Sistemleri - Yüksek Boy Oranı (HAR) Mikroişleme
Referanslar
Bu mühendislik ile ilgili bu madde bir olduğunu saplama . Sen Vikipedi'ye katkıda bulunabilirsiniz genişletmeden . |