Everhart–Thornley dedektörü - Everhart–Thornley detector

Demonte Everhard-Thornley dedektörü (Philips XL30), +300V ızgara ve tüpü, şeffaf silindirik ışık kılavuzunu, altın sıkıştırma somununu ve üstte sintilatör diskli (+10 kV) dahili düzeneği (soldan) gösterir. Ortak bir fotoçoğaltıcı, ışık kılavuzunun arka tarafında olacaktır ve gösterilmemiştir.

Everhart-Thornley dedektörü ( ET detektörü ya da ET dedektör ) a, ikinci elektron ve geri saçılmış elektron dedektörü kullanılan elektron mikroskopları tarama (SEM). Adını tasarımcıları Thomas E. Everhart ve Richard FM Thornley'den almıştır . SEM , odanın dışındaki fotoçoğaltıcıya . Bundan önce Everhart, Vladimir Zworykin ve Jan A. Rajchman tarafından elektron çarpanını bir foto çoğaltıcıya değiştirerek ikincil bir elektron tespiti için bir tasarım geliştirmişti . Işık kılavuzu ve yüksek verimli fotoçoğaltıcı ile Everhart–Thornley Dedektörü, SEM'lerde en sık kullanılan dedektördür.

Dedektör öncelikle , mikroskobun numune odası içindeki bir Faraday kafesi içindeki bir sintilatörden oluşur . Göreceli olarak düşük enerjili ( tanım gereği 50 eV'den az ) ikincil elektronları çekmek için Faraday kafesine düşük bir pozitif voltaj uygulanır . Numune odasındaki diğer elektronlar bu düşük voltaj tarafından çekilmezler ve sadece hareket yönleri onları ona götürürse dedektöre ulaşır. Sintilatör, gelen elektronları ışık fotonlarına dönüştürülebilecekleri yere hızlandırmak için yüksek bir pozitif voltaja (10.000 V doğasında) sahiptir. Hareketlerinin yönü, ayna görevi gören sintilatör üzerindeki metal bir kaplama ile ışık kılavuzuna odaklanır. Işık borusunda fotonlar, amplifikasyon için mikroskobun vakum odasının dışına bir fotoçoğaltıcı tüpe gider.

ET ikincil elektron dedektörü, Faraday kafesini kapatarak veya Faraday kafesine negatif voltaj uygulayarak SEM'in geri saçılmış elektron modunda kullanılabilir. Bununla birlikte, daha iyi geri saçılmış elektron görüntüleri, E–T dedektörünü bir BSE dedektörü olarak kullanmaktan ziyade özel BSE dedektörlerinden gelir.

Referanslar

  1. ^ Everhart, TE ve RFM Thornley (1960). "Mikro-mikroamper düşük enerjili elektron akımları için geniş bant dedektörü" (PDF) . Bilimsel Aletler Dergisi . 37 (7): 246-248. Bibcode : 1960JScI...37..246E . doi : 10.1088/0950-7671/37/7/307 .
  2. ^ Goldstein, Joseph (2018). Taramalı elektron mikroskobu ve röntgen mikroanalizi . Newbury, Dale E., Michael, Joseph R., Ritchie, Nicholas WM, Scott, John Henry J., Joy, David C. (Dördüncü baskı). New York, NY: Springer. s. 115-116. ISBN'si 978-1-4939-6676-9. OCLC  1013460027 .